epma与xps的区别 epe与xpe哪个比较好

10 XPSX射线光电子能谱仪epma与xps的区别，提供表面元素定性和半定量分析，能够揭示分子结构信息11 EPMA电子探针微分析仪，作为微区元素定量分析epma与xps的区别的高端工具，具有广泛的分析范围和精确度12 SIMS二次离子质谱仪和EDS能量色散X射线光谱仪，则是分析低浓度掺杂和元素深度分布的强大工具，具备高灵敏。

不同硬失效对应的漏电流大小不同二失效分析的手段1 形貌观察使用光学显微镜扫描电子显微镜SEM透射电子显微镜TEM原子力显微镜AFM特殊液体透镜技术等方法观察器件表面和次表面缺陷光学显微镜的放大倍数一般为500倍，使用冶金显微镜可达1000倍，特殊液体透镜技术可达到1500倍，可用。

通常采用红外显微镜FTIR技术其次，关注异物或材料表面的元素成分分析，这时会用到微谱分析MSA电子探针EPMA扫描电镜能谱仪SEMEDX多功能光电子能谱仪XPS以及能量色散型微区X 射线荧光光谱仪μEDX等设备最后。

图2 a 裸锌箔和 b MTSiHedpZn 电极的 SEM 图像 c MTSiHedpZn 电极的 EPMA 图像和相应的元素映射 d， e MTSiHedpZn 电极的 XPS 分析 f MTSiHedpZn 电极的 FTIR 光谱 g 计算的三个有机分子的前沿分子轨道能量 h MTSiHedpZn 的计算 ESP。

核磁共振NMR电子顺磁共振波谱仪ESR气质联用GCMSX光电子能谱仪XPSESCAX荧光光谱XRF能量色散型X荧光光谱仪电子显微镜扫描电镜透射电镜SEMTEM扫描探针显微镜SPM原子力显微镜电子显微镜外围设备JFC，JEE，MK3DC活性消磁装置电子探针EPMA能谱仪EDS工业设备JEBG，JST。

专业技能全面，熟练操作研究领域所需的多种仪器和设备，了解常用设备及其工作原理攻读博士学位期间，参与多种设备的设计组装和维护工作具有独立操作样品制备技能，能熟练操作金相分析扫描电子显微镜SEM及进行X射线衍射谱XRD电子探针EPMA和XPS分析获得多项工作奖励，包括1997年度公司标准。

9 GDMS和GDOES则在痕量元素分析和层状材料深度剖析中表现出色10 XPS提供表面元素的定性和半定量分析，揭示分子结构11 EPMA作为微区元素定量分析的高端工具，分析范围广且精确12 SIMS和EDS则是分析低浓度掺杂和元素深度分布的利器，具有高灵敏度这些方法各有其独特优势，适用于不同的分析。